説明
SPHドライスクロールポンプ(第2世代スクロールポンプ構造)は、優れた排気能力、到達真空性能と高度な設計機能を備え、SPHドライスクロールポンプ(第2世代)は、第1世代スクロールポンプの最適化に基づいて、排気速度が増加し、 より高い到達真空度、低消費電力、低騒音が得られます。 バラスト機能を利用して、凝縮性蒸気 (水、溶剤、希酸および希塩基を含む) を排出することができます。 SPH ドライ スクロール ポンプ (第 2 世代) は、最適化されたフェース シール技術も特徴としており、フェース シールの交換間隔を大幅に延ばします。 水蒸気や一部の腐食性物質の適用により適しています。