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クリーンベンチは、ファンを介してプレフィルターに空気を吸い込み、静圧ボックスを介して高効率フィルターに入り、ろ過された空気を垂直または水平の気流状態で送り、動作領域が清浄度のレベルに達するようにします。 生産環境の清浄度要件を確保します。